一种用于半导体晶片的储存运输装置及其使用方法

摘要

本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其是一种用于半导体晶片的储存运输装置，包括架体、用于放置半导体晶片的置物机构、用于对置物机构表面进行清理的吸尘机构和用于控制置物机构和吸尘机构运行的控制装置，所述置物机构包括两个对称设置的置物架、以及安装在置物架上的升降机构，所述吸尘机构在架体上设置有两个，两个吸尘机构分别对应相应的蒙皮处匹配设置，吸尘机构包括推缸、滑块、刷体和电磁阀二,本发明能够用于放置半导体晶片,且能够避免半导体晶片出现磨损的情况。本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其是一种用于半导体晶片的储存运输装置，包括架体、用于放置半导体晶片的置物机构、用于对置物机构表面进行清理的吸尘机构和用于控制置物机构和吸尘机构运行的控制装置，所述置物机构包括两个对称设置的置物架、以及安装在置物架上的升降机构，所述吸尘机构在架体上设置有两个，两个吸尘机构分别对应相应的蒙皮处匹配设置，吸尘机构包括推缸、滑块、刷体和电磁阀二,本发明能够用于放置半导体晶片,且能够避免半导体晶片出现磨损的情况。